申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心

申请日：2020-03-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN111239890B

主分类号：G02B6/02

分类号：G02B6/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2020.06.30#实质审查的生效;2020.06.05#公开

摘要：本发明公开了一种微纳光纤长周期光栅的制备装置及制备方法，包括：用于发射激光光束的激光器；扫描振镜，其位于激光器发出的激光光束的下游，所述激光光束能够照射在扫描振镜上；电控平移台，其上设置有用于固定微纳光纤的光纤夹具，所述电控平移台位于扫描振镜的后端，且经过扫描振镜的激光束能够照射在光纤夹具上；CCD，其位于电控平移台的后端；控制电脑，其分别与激光器、扫描振镜、电控平移台和CCD相连，所述控制电脑能够对激光器、扫描振镜、电控平移台和CCD进行控制。本发明微纳光纤长周期光栅的制备方法，具有制备简单、制备时间短、调制深度高的优点，特别适合长周期光栅器件的批量生产。

主权项：1.一种微纳光纤长周期光栅的制备装置，其特征在于，包括：用于发射激光光束的激光器；扫描振镜，其位于激光器发出的激光光束的下游，所述激光光束能够照射在扫描振镜上；电控平移台，其上设置有用于固定微纳光纤的光纤夹具，所述电控平移台位于扫描振镜的后端，且经过扫描振镜的激光束能够照射在光纤夹具上；CCD，其位于电控平移台的后端；控制电脑，其分别与激光器、扫描振镜、电控平移台和CCD相连，所述控制电脑能够对激光器、扫描振镜、电控平移台和CCD进行控制；所述激光器为高重频CO2激光器；所述扫描振镜为在控制电脑的控制下能以一定的角度及速度摆动，使激光光束按照一定的速度扫描微纳光纤指定区域的反射镜；所述控制电脑通过计算机编程实现对激光器、扫描振镜、电控平移台和CCD的控制；其中，采用所述的制备装置进行微纳光纤长周期光栅的制备方法，包括以下步骤：步骤一、将微纳光纤固定于电控平移台的光纤夹具之上，再通过控制电脑将电控平移台移动到激光器的光束可覆盖区域之内；步骤二、通过设置在电控平移台后方的CCD，将采集的光纤的图像反馈给控制电脑，并通过控制电脑控制电控平移台对微纳光纤进行精确定位；步骤三、开启激光器电源，在控制电脑上设置刻蚀参数，刻蚀参数包含激光器频率、刻蚀周期、刻蚀宽度、刻蚀深度和刻蚀总长度，设置完成后，开始对微纳光纤进行刻蚀，直到完成刻蚀；所述步骤三中的刻蚀参数为：激光器频率：1kHz、刻蚀周期：600μm、刻蚀宽度：50μm、刻蚀深度：2μm、刻蚀总长度为32个刻蚀周期。

全文数据：

权利要求：

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