申请/专利权人：江苏新智达新能源设备有限公司

申请日：2023-06-02

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN116741672B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2023.09.29#实质审查的生效;2023.09.12#公开

摘要：本发明提供了一种真空固化机构的真空部，包括有供放置封装框架的底板和盖合于所述底板上方的顶盖，所述底板中设置有转运所述封装框架的移转机构，所述底板上设置有真空部，所述真空部包括设置于所述底板上的真空底仓和加热底板，所述真空底仓为顶部开口的中空结构，所述加热底板设置于所述真空底仓内部，所述加热底板和所述真空底仓之间具有间隙，所述真空底仓中穿设有支撑固定所述加热底板的支撑管，通过采用了加热底板和真空仓隔开分离式设计，并改由底部进气排气，降低了加热底板作为热源对其他部件的热影响，同时也对氮气进气过程和方式予以了改良，延长了机构中各部件的使用寿命和可靠性，提升了封装质量。

主权项：1.一种真空固化机构的真空部，其特征在于：所述真空部（5）包括设置于底板（2）上的真空底仓（501）和加热底板（502），所述真空底仓（501）为顶部开口的中空结构，所述加热底板（502）设置于所述真空底仓（501）内部，所述加热底板（502）和所述真空底仓（501）之间具有间隙，所述真空底仓（501）中穿设有支撑固定所述加热底板（502）的支撑管（503）；所述真空底仓（501）的顶面设有环形的密封槽（507），顶盖（3）上设置有真空顶仓（506）和驱动所述真空顶仓（506）上下运动的启闭机构（505），所述真空顶仓（506）为底部开口的中空结构，所述真空顶仓（506）的底壁压合于所述真空底仓（501）的顶壁，所述密封槽（507）中设有密封圈（508）；所述真空底仓（501）的底部连通有抽真空管（510）和氮气管（509）；所述启闭机构（505）包括固定于所述顶盖（3）上的安装座（5051），所述安装座（5051）上竖直设置有若干个导套（5052），所述导套（5052）中竖直穿设有导柱（5053），所述导柱（5053）的末端与所述真空顶仓（506）的顶部固定；所述安装座（5051）上竖直设置有启闭气缸（5054），所述启闭气缸（5054）的活塞杆末端与所述真空顶仓（506）的顶部固定；所述真空底仓（501）内设置有环形冷却管路，所述环形冷却管路外接冷却水管；所述支撑管（503）中穿设有用于所述真空底仓（501）与外界电性连接的电缆。

全文数据：

权利要求：

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