申请/专利权人:中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日:2023-08-22
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN220651941U
主分类号:H01J37/317
分类号:H01J37/317;H01J37/18
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.22#授权
摘要:本申请提供一种离子注入设备,所述离子注入设备包括:反应腔;抽气管路,与所述反应腔连通,用于对所述反应腔抽气,所述抽气管路上设置有自动阀门;自动控制装置,被配置为在所述反应腔打开时自动控制所述自动阀门开启。本申请提供一种离子注入设备,在进行设备维护打开反应腔时通过抽气管路抽气使反应腔保持负压,可以在离子注入设备进行维护时保证反应腔内没有有害气体残留,保障环境安全和人体安全,提高生产效率。
主权项:1.一种离子注入设备,其特征在于,包括:反应腔;抽气管路,与所述反应腔连通,用于对所述反应腔抽气,所述抽气管路上设置有自动阀门;自动控制装置,被配置为在所述反应腔打开时自动控制所述自动阀门开启。
全文数据:
权利要求:
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