申请/专利权人：无锡赛思一科技有限公司

申请日：2023-08-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651978U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;F16F15/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型涉及硅片提篮设备技术领域，提供了一种圆形硅片搬运用提篮，包括两个侧板，两个所述侧板之间设有多根承载杆，所述承载杆上均匀设有用于承载硅片的承载槽，所述侧板远离承载杆的一侧设有凸柱，所述凸柱外壁转动连接有转动臂，所述转动臂远离凸柱的一侧设有挡杆。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，打开把手杆，将圆形硅片的插入到承载杆上的承载槽内，然后将两侧的把手杆向中间靠拢，此时挡杆绕着凸柱转动，卡槽卡在圆形硅片的上侧对其进行固定，然后提起两个把手杆进行硅片的搬运，安装固定方便、结构简单、实用性强。放下提篮时，套板相对底座向上运动，弹簧进行减震，防止放下力度过大导致硅片损坏。

主权项：1.一种圆形硅片搬运用提篮，包括两个侧板1，其特征在于：两个所述侧板1之间设有多根承载杆2，所述承载杆2上均匀设有用于承载硅片的承载槽3，所述侧板1远离承载杆2的一侧设有凸柱4，所述凸柱4外壁转动连接有转动臂5，所述转动臂5远离凸柱4的一侧设有挡杆6，所述挡杆6上均匀设有卡槽7，所述转动臂5通过连接臂8连接有把手杆9。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡赛思一科技有限公司 一种圆形硅片搬运用提篮

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