申请/专利权人:眉山博雅新材料股份有限公司
申请日:2023-08-28
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN220643342U
主分类号:C30B29/36
分类号:C30B29/36;C30B7/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.22#授权
摘要:本说明书实施例公开了一种导流装置及晶体生长装置,导流装置包括导流侧壁,所述导流侧壁围绕第一方向形成导流空间;隔离板,所述隔离板设置于所述导流空间,将所述导流空间沿所述第一方向分隔成第一空间和第二空间;晶体生长装置包括导流装置;坩埚,用于盛装所述原料液;托盘,用于支撑籽晶,在所述籽晶的生长面生长所述晶体。
主权项:1.一种导流装置,用于在生长晶体的过程中调整原料液的流向,其特征在于,包括:导流侧壁,所述导流侧壁围绕第一方向形成导流空间;隔离板,所述隔离板设置于所述导流空间,将所述导流空间沿所述第一方向分隔成第一空间和第二空间;所述导流侧壁包括第一侧壁和第二侧壁,所述第一侧壁的内壁朝所述导流空间外侧凸起,所述第二侧壁的内壁为弧形结构,所述弧形结构位于所述第一空间,所述隔离板的第一端与所述弧形结构的第一端过渡连接,所述弧形结构的第二端向远离所述第一侧壁的方向延伸,所述隔离板的与所述第一端相对的第二端与所述第一侧壁的内壁形成开口;所述原料液从所述第二空间经过所述开口沿所述第一侧壁的所述内壁进入所述第一空间,由所述第一侧壁流向所述第二侧壁,沿所述弧形结构流出所述导流装置。
全文数据:
权利要求:
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