申请/专利权人：广东生波尔光电技术有限公司

申请日：2023-06-20

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643238U

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C23C14/02;C23C14/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本申请提供一种新型防污挡板机构，包括离子源，设于所述离子源上的驱动机构以及设于所述离子源上侧的挡板组件，所述挡板组件通过连接轴与所述驱动机构传动连接，所述驱动机构可驱动所述连接轴带动所述挡板组件旋转，以相对所述离子源呈展开状态和闭合状态，通过将挡板组件与驱动机构传动连接，将挡板组件的结构简单化，以使其占用空间较小，大大提高空间利用；通过增加离子源挡板，解决了离子源受靶材污染的问题，减少清洗离子源周期，提高了生产效率，保证产品质量，保证溅射过程中离子源受到的污染大大减少；挡板机构和离子源机构集合在一起，不受真空腔体形状影响，对特殊类设备也适用，实用性高。

主权项：1.一种新型防污挡板机构，其特征在于：包括离子源1，设于所述离子源1上的驱动机构3以及设于所述离子源1上侧的挡板组件2，所述挡板组件2通过连接轴4与所述驱动机构3传动连接，所述驱动机构3可驱动所述连接轴4带动所述挡板组件2旋转，以相对所述离子源1呈展开状态和闭合状态；所述驱动机构3包括壳体32，设于所述壳体32内的驱动件31以及与所述连接轴4传动连接的传动组件30，所述驱动件31用于驱动所述传动组件30转动并带动所述连接轴4，以使所述挡板组件2相对所述离子源1呈展开状态和闭合状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东生波尔光电技术有限公司 一种新型防污挡板机构

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