申请/专利权人：佛山市海光智能科技有限公司

申请日：2023-05-24

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643255U

主分类号：C23C16/27

分类号：C23C16/27;C23C16/44;C23C16/511

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型涉及钻石沉积技术领域，特别是一种用于钻石沉积的设备包括安装座、底座、顶盖和升降驱动装置，底座和升降驱动装置均安装于安装座的顶面；升降驱动装置的移动端安装有夹持件，夹持件具有夹持空间，顶盖位于夹持空间内，顶盖与夹持件固定连接；夹持件位于底座的正上方，升降驱动装置用于驱动顶盖盖合于底座和驱动顶盖远离底座，顶盖和底座形成反应腔室，解决了现有技术的反应腔，顶盖可翻转地设置于底座的上方，实现反应腔的开合，而顶盖的可翻转式设置，使得顶盖的重力在反应腔打开时，底座受到朝向一边的压力，造成底座受力不均匀而出现损坏的问题。

主权项：1.一种用于钻石沉积的设备，其特征在于：包括安装座、底座、顶盖和升降驱动装置，所述底座和所述升降驱动装置均安装于所述安装座的顶面；所述升降驱动装置的移动端安装有夹持件，所述夹持件具有夹持空间，所述顶盖位于所述夹持空间内，所述顶盖与所述夹持件固定连接；所述夹持件位于所述底座的正上方，所述升降驱动装置用于驱动所述顶盖盖合于所述底座和驱动所述顶盖远离所述底座，所述顶盖和所述底座形成反应腔室。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佛山市海光智能科技有限公司 一种用于钻石沉积的设备

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