申请/专利权人：龙具硬质合金(苏州)有限公司

申请日：2022-11-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651955U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/56

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开一种高精度TiCN陶瓷治具，其环形限位槽供下模具的凸缘嵌入安装，一环形气管套设在下模槽的周向外壁，在下模槽的底部开设有若干个气孔，该气孔通过连接管与环形气管连通，下模座的一侧设置有一连通孔，该连通孔通过一第二导气管与环形气管连通，一双向气泵设置在下模座周向外壁的一侧，该双向气泵通过一第一导气管与环形气管连通，双向气泵的进气口连接有一制冷箱，此双向气泵相背于第一导气管的一侧设置有一排气管，双向气泵与制冷箱之间的连接管上设置有一第一阀门，排气管上设置有第二阀门。本实用新型可以实现对采用热塑封装的器件进行冷却，便于器件脱模，也提高了封装效率。

主权项：1.一种高精度TiCN陶瓷治具，包括：上模座（1）和下模座（2），其特征在于：所述下模座（2）与上模座（1）之间设置有若干个伸缩杆（4），所述上模座（1）的顶部设置有若干个注胶管（3），该注胶管（3）与上模槽（101）的顶部连通；所述上模座（1）的下表面开设有若干个用于上模具（5）嵌入安装的上模槽（101），所述下模座（2）的上表面开设有若干个用于下模具（6）嵌入安装的下模槽（201），所述下模槽（201）的顶部内侧具有一环形限位槽（7），该环形限位槽（7）供下模具（6）的凸缘（601）嵌入安装；一环形气管（8）套设在所述下模槽（201）的周向外壁，在所述下模槽（201）的底部开设有若干个气孔（9），该气孔（9）通过连接管（10）与环形气管（8）连通，所述下模座（2）的一侧设置有一连通孔（11），该连通孔（11）通过一第二导气管（12）与环形气管（8）连通；一双向气泵（13）设置在下模座（2）周向外壁的一侧，该双向气泵（13）通过一第一导气管（14）与环形气管（8）连通，所述双向气泵（13）的进气口连接有一制冷箱（15），此双向气泵（13）相背于第一导气管（14）的一侧设置有一排气管（16），所述双向气泵（13）与制冷箱（15）之间的连接管上设置有一第一阀门（17），所述排气管（16）上设置有第二阀门（18）。

全文数据：

权利要求：

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