申请/专利权人：天津天物金佰微电子有限公司

申请日：2023-07-17

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220634837U

主分类号：B05B7/04

分类号：B05B7/04;B05B7/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型属于扩散源涂覆技术领域，尤其是一种扩散源涂覆装置，包括支撑腿，所述支撑腿的顶部固定安装有反应桶，所述反应桶的内部设置有气流调节机构，所述气流调节机构实现所述反应桶进行扩散源涂覆操作时气流调节转换的动作。该扩散源涂覆装置，本装置在扩散涂覆操作中通过设置气流调节机构达到了涂覆扩散时，调整气流速度：将气流速度调整到合适的范围内，以保证混合充分，并且与扩散源、基底表面等的距离合适；根据反应室内气流情况和基底特性，改变气流方向，确保气流在反应室内能够均匀地流动，在整个基底表面形成稳定的气流层，从而降低沉积厚度不均匀造成的缺陷，进而提高了产品的质量。

主权项：1.一种扩散源涂覆装置，包括支撑腿（1），其特征在于：所述支撑腿（1）的顶部固定安装有反应桶（2），所述反应桶（2）的内部设置有气流调节机构（3），所述气流调节机构（3）实现所述反应桶（2）进行扩散源涂覆操作时气流调节转换的动作；所述反应桶（2）的内底壁中心固定安装有旋转座（4），所述旋转座（4）的上方放置有涂覆样品（5），所述涂覆样品（5）通过旋转座（4）顶端的旋转部件在扩散涂覆中以所述旋转座（4）的轴心进行自转的动作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津天物金佰微电子有限公司 一种扩散源涂覆装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD