申请/专利权人：启思半导体(杭州)有限责任公司

申请日：2023-08-14

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220650546U

主分类号：G01N27/04

分类号：G01N27/04;G01N27/12;G01K7/16

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型涉及一种感测单元阵列装置。所述感测单元阵列装置包括在基底与绝缘层之间形成的至少两个隔热腔、对应于各所述隔热腔分别形成的阵列排布的至少两个气体感测单元以及互连结构，其中，所述互连结构包括多条金属互连线以及分别与各所述金属互连线连接的多个共享连接垫，其中，每条所述金属互连线将至少两个所述气体感测单元中的第一加热端子、第二加热端子、第一测试端子或第二测试端子连接至相应的所述共享连接垫，有助于简化线路，减少连接垫的数量，优化感测单元阵列装置的结构，便于降低制作成本。

主权项：1.一种感测单元阵列装置，其特征在于，包括：基底；绝缘层，形成于所述基底上，并且，所述绝缘层与所述基底之间具有由所述基底和所述绝缘层围设而成的至少两个隔热腔；对应于各所述隔热腔分别形成的阵列排布的至少两个气体感测单元，每个所述气体感测单元包括位于相应的所述隔热腔正上方的加热器、气体检测电极以及覆盖所述加热器和所述气体检测电极的气敏材料层，还包括位于所述隔热腔外围且连接所述加热器的第一加热端子和第二加热端子以及连接所述气体检测电极的第一测试端子和第二测试端子；以及互连结构，所述互连结构包括多条金属互连线以及分别与各所述金属互连线连接的多个共享连接垫，其中，每条所述金属互连线将至少两个所述气体感测单元中的第一加热端子、第二加热端子、第一测试端子或第二测试端子连接至相应的所述共享连接垫。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 启思半导体(杭州)有限责任公司 感测单元阵列装置

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