申请/专利权人:杭州长川科技股份有限公司
申请日:2023-08-29
公开(公告)日:2024-03-22
公开(公告)号:CN220650828U
主分类号:G01R31/28
分类号:G01R31/28;G01R1/04
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.22#授权
摘要:本公开涉及一种测试单元和测试装置。该测试单元包括:测试座;轨道组件,用于流转芯片;测压头组件,与轨道组件沿第一方向滑动连接并设有供芯片流转的通道,测压头组件与测试座相对设置;及,驱动组件,与测压头组件相接,用于驱动测压头组件沿第一方向靠近或远离测试座;其中,测试座包括测试座底座与至少一个探针,每个探针包括探针本体和探针头,探针本体设于测试座底座并与测压头组件相对设置,探针头沿第一方向可伸缩地连接于探针本体并朝向测压头组件设置。该测试单元能够有效保护芯片,提高测试精度,具有较高的使用寿命。
主权项:1.一种测试单元,其特征在于,包括:测试座54;轨道组件25,用于流转芯片200;测压头组件24,与所述轨道组件25沿第一方向滑动连接,并设有供芯片200流转的通道,所述测压头组件24与所述测试座54相对设置;及,驱动组件27,所述驱动组件27与所述测压头组件24相接,用于驱动所述测压头组件24沿第一方向靠近或远离所述测试座54;其中,所述测试座54包括测试座底座57与至少一个探针60,每个所述探针60包括探针本体和探针头,所述探针本体设于测试座底座57并与所述测压头组件24相对设置,所述探针头沿所述第一方向可伸缩地连接于所述探针本体并朝向所述测压头组件24设置。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 杭州长川科技股份有限公司 一种测试单元和测试装置
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