申请/专利权人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))

申请日：2021-08-19

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN113781402B

主分类号：G06T7/00

分类号：G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136;G06T7/90;G06V10/762;G06T5/70

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.26#授权;2021.12.28#实质审查的生效;2021.12.10#公开

摘要：本申请涉及一种芯片表面划痕缺陷的检测方法、装置、计算机设备和存储介质。方法包括：获取待检测芯片的原始图像，对原始图像进行预处理，得到预处理图像；根据预处理图像中各像素之间的相似性，对各像素进行聚类，得到多个超像素；根据多个超像素，对预处理图像进行显著性分析，得到显著图像；对显著图像进行阈值分割，以将包含芯片表面划痕的目标前景图像与目标背景图像分离；其中，目标前景图像为检测得到的芯片表面划痕图像。采用本方法对芯片表面划痕的检测准确度高，鲁棒性强。

主权项：1.一种芯片表面划痕缺陷的检测方法，其特征在于，所述方法包括：获取待检测芯片的原始图像，对所述原始图像进行灰度化处理，得到灰度图像；通过自适应直方图均衡化AHE方法对所述灰度图像的对比度进行增强处理，得到增强图像；对所述增强图像进行降噪处理，得到预处理图像；根据所述预处理图像中各像素之间的相似性，对各像素进行聚类，得到多个超像素；根据所述多个超像素，对所述预处理图像进行显著性分析，得到显著图像；对所述显著图像进行阈值分割，以将包含芯片表面划痕的目标前景图像与目标背景图像分离；其中，所述目标前景图像为检测得到的芯片表面划痕图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) 芯片表面划痕缺陷的检测方法、装置和计算机设备

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