申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117776711A

主分类号：C04B35/457

分类号：C04B35/457;C23C14/35;C23C14/08;C04B35/622

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种氧化锡铌靶材的制备方法，以氧化锡、氧化铌为原料制备氧化锡铌靶材；所述氧化铌为Nb2O5以及Nb2O4、Nb2O3中的至少一种。该方法采用了多种价态的氧化铌为原料，使最终产品中绝大部分为五价氧化铌以及少量的三价和四价氧化铌，可以提高产品的导电率。同时，本发明还提供了该氧化锡铌靶材。

主权项：1.一种氧化锡铌靶材的制备方法，其特征在于，以氧化锡、氧化铌为原料制备氧化锡铌靶材；所述氧化铌为Nb2O5以及Nb2O4、Nb2O3中的至少一种。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种氧化锡铌靶材及其制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD