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【发明公布】促进SOT和MRAM器件的BiSbx(012)合金取向的缓冲层和夹层_西部数据技术公司_202280049424.X 

申请/专利权人:西部数据技术公司

申请日:2022-05-06

公开(公告)日:2024-03-29

公开(公告)号:CN117795598A

主分类号:G11B5/31

分类号:G11B5/31;H10N50/85;H10N50/10;G11B5/39

优先权:["20210813 US 17/401,856"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要:本公开一般涉及自旋轨道矩SOT磁性隧道结MTJ器件,其包括缓冲层、设置在缓冲层上的具有012取向的铋锑BiSb层、以及设置在BiSb层上的夹层。缓冲层和夹层可以各自独立地为单层材料或多层材料。缓冲层和夹层各自包括共价键合的非晶材料、四方001材料、四方110材料、体心立方bcc100材料、面心立方fcc100材料、织构化bcc100材料、织构化fcc100材料、织构化100材料或非晶金属材料中的至少一种。缓冲层和夹层抑制锑Sb在BiSb层内的迁移并提高BiSb层的均匀性,同时进一步促进BiSb层的012取向。

主权项:1.一种自旋轨道矩SOT磁隧道结MTJ器件,包括:衬底;形成在所述衬底上方的缓冲层,所述缓冲层包括:非晶层,所述非晶层包括处于非晶结构的材料,其中,所述材料包括共价键合的碳化物、共价键合的氧化物或共价键合的氮化物;以及形成在所述缓冲层上方的铋锑BiSb层,所述BiSb层具有012取向,其中,所述缓冲层被配置为减少所述BiSb层中的Sb的迁移。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西部数据技术公司 促进SOT和MRAM器件的BiSbx(012)合金取向的缓冲层和夹层

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