申请/专利权人：南京理工大学

申请日：2024-01-08

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117781936A

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明公开了一种低相干的光学自由曲面形貌干涉扫描测量装置及方法，该装置包括：用于产生一对光程差可调的正交偏振光的低相干照明系统，用于产生参考光束和测试光束的干涉发生系统，用于控制待测件进行三维形貌扫描干涉测量的扫描系统，用于干涉条纹成像接收的成像系统。本发明无需像差补偿器，不受干涉回程误差影响，且具有高精度、高灵活性、成本低等优点，能够有效用于光学自由曲面三维形貌的高精度测量。

主权项：1.一种低相干的光学自由曲面形貌干涉扫描测量装置，其特征在于，所述装置包括低相干照明系统、干涉发生系统、扫描系统和成像系统：所述低相干照明系统，用于产生一对正交偏振光，两支正交偏振光的光程差可调；所述干涉发生系统，用于产生参考光束和测试光束；所述扫描系统，用于控制待测件进行三维形貌扫描干涉测量；所述成像系统，用于干涉条纹的成像接收。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京理工大学 一种低相干的光学自由曲面形貌干涉扫描测量装置及方法

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