申请/专利权人：富联裕展科技(深圳)有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117870571A

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24;G01N3/06;G01N3/42

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请公开一种表面形貌检测系统，包括：光源，用于发射光源光；光引导组件，用于将光源光分成第一光束和第二光束出射；第一调制器，用于调制第一光束并引导调制后的第一光束至待测物表面，第一光束在待测物表面反射后形成探测光；以及参考光组件，包括反射片和第二调制器，第二调制器驱动反射片周期振动，使第二光束在反射面反射后形成参考光；光引导组件还用于将探测光和参考光合束后出射，第一频率的探测光和第二频率的参考光用于获取待测物表面的形貌信息。本申请还公开一种硬度检测设备、表面形貌检测方法及硬度检测方法。本申请的表面形貌检测系统，通过调制探测光和参考光的频率，可将时域信号转换为频域信号，精确检测物体表面形貌。

主权项：1.一种表面形貌检测系统，其特征在于，包括：光源，用于发射光源光；光引导组件，位于所述光源光的光路上，用于将所述光源光分成第一光束和第二光束，并引导所述第一光束和所述第二光束沿不同光路出射；第一调制器，位于所述第一光束的光路上，用于以第一频率调制所述第一光束并引导调制后的所述第一光束至待测物表面，所述第一光束在所述待测物表面反射后形成具有所述第一频率的探测光；以及参考光组件，包括固定连接的反射片和第二调制器，所述第二调制器基于调制信号驱动所述反射片以第二频率周期振动，使得所述第二光束经所述反射片反射后形成具有所述第二频率的参考光；所述光引导组件还用于接收所述探测光和所述参考光并将所述探测光和所述参考光合束后出射，所述第一频率的探测光和所述第二频率的参考光用于获取所述待测物表面的形貌信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 富联裕展科技(深圳)有限公司 表面形貌检测系统和方法、硬度检测设备和方法

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