申请/专利权人：锡凡半导体无锡有限公司

申请日：2021-12-17

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN114323268B

主分类号：G01J1/42

分类号：G01J1/42

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权;2022.04.29#实质审查的生效;2022.04.12#公开

摘要：本发明属于能量检测领域，公开了一种光刻机能量检测装置及检测方法，装置包括安装板，安装板固定安装在光刻机运动机构中，安装板的前端面横向固定设置有两根导轨，安装板的一侧固定设置有伺服电机，伺服电机通过同步轮同步带驱动有安装座，安装座通过滑块滑动设置在两根导轨之间。本发明通过CCD和能量探头的配合使用，对光刻机的出光进行精确到像素点的能量检测，便于对光刻机的出光能量均匀性进行更精确的检测，有效提高光刻机的曝光精度，防止因衰减片的老化而出现测量误差；通过衰减片的使用，有效提高CCD可检测的能量范围，通过同步带的使用，有效降低能量检测装置的重量，有效减少运动机构的变形量。

主权项：1.一种光刻机能量检测方法，基于检测装置进行检测，其特征在于，检测装置包括安装板1，所述安装板1固定安装在光刻机运动机构中，所述安装板1的前端面横向固定设置有两根导轨9，所述安装板的一侧固定设置有伺服电机2，所述伺服电机2通过同步轮5和同步带11驱动安装座4，所述安装座通过滑块13滑动设置在两根导轨之间；所述安装座4的一侧固定设置有CCD8，所述安装座的顶面固定设置有能量探头6；所述安装板1的后端面顶部横向设置有光栅尺10，所述安装座4配合光栅尺10固定设置有读数头12；所述CCD8的顶端配合设置有衰减片7，所述衰减片的通过率为0.2；所述能量探头6为热敏型能量检测探头，所述能量探头6通过导线与上位机进行电性连接，且能量探头的检测区域大于CCD视野；所述伺服电机通过导线与伺服驱动器电性连接，编码器和伺服驱动器分别通过导线与驱动控制器进行电性连接；所述CCD通过导线与上位机进行电性连接；所述安装座与安装板之间配合设置有用于放置线缆的拖链3；检测方法包括以下步骤：步骤一，将光刻机的出光区域根据CCD的视野等分为N份，每份光刻机的出光区域单独投图时CCD感光的像素点数量均为M个；步骤二，通过控制光刻机的运动机构和驱动安装座滑动的伺服电机将CCD移动至光刻机的出光区域内，分别测得各个区域内各像素点的灰度值，求平均数得到环境光灰度值B；步骤三，依次对等分后的光刻机的出光区域单独进行投图，并利用CCD分别测得区域内各个像素点的灰度值，通过计算得到光刻机的所有的出光区域内的灰度值均值A；步骤四，通过控制光刻机的依次对各个区域投射光斑，并控制将能量探头依次移动至光刻机的各个投图范围内，依次测得各个区域内的功率值，求平均数得到能量均值J；步骤五，灰度值与能量之间的系数为K，通过计算得到：K＝JMA-B；步骤六，测得像素点的灰度值为C，像素点的感光能量值为E，通过计算得到E＝KC-B＝JC-BMA-B；步骤七，分别计算得出各个像素点的能量值E；步骤八，通过比对各个像素点的能量值E分析光刻机出光的均匀性，并判断各个像素点的能量值E是否满足生产需要。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 锡凡半导体无锡有限公司 一种光刻机能量检测装置及检测方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD