申请/专利权人：安徽京仪自动化装备技术有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN220690141U

主分类号：G01D11/00

分类号：G01D11/00;B23K10/02;G01D21/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权

摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种等离子炬测试装置，包括机台、厂务源接口和检测组件，机台内部设有测试腔，机台的顶部设有用于待测等离子炬安装的安装口，厂务源接口包括循环水接口和氮气接口，循环水接口适于将厂务循环出水口与待测等离子炬的进水接口连通，氮气接口适于将厂务氮气出口与待测等离子炬的进气口连通，检测组件包括水流量检测器和气体流量检测器，水流量检测器适于检测进入待测等离子炬的循环水流量，气体流量检测器适于检测进入待测等离子炬的氮气流量。提供一种可长时运行且可无人值守的等离子炬测试装置，避免因人工监测的疏忽大意或反应迟缓导致等离子炬损坏，使制造企业产生很大的工时及物料损失的效果。

主权项：1.一种等离子炬测试装置，其特征在于：包括机台、厂务源接口和检测组件，所述机台内部设有测试腔，所述机台的顶部设有用于待测等离子炬安装的安装口，所述厂务源接口包括循环水接口和氮气接口，所述循环水接口适于将厂务循环出水口与所述待测等离子炬的进水接口连通，所述氮气接口适于将厂务氮气出口与所述待测等离子炬的进气口连通，所述检测组件包括水流量检测器和气体流量检测器，所述水流量检测器适于检测进入所述待测等离子炬的循环水流量，所述气体流量检测器适于检测进入所述待测等离子炬的氮气流量。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽京仪自动化装备技术有限公司 等离子炬测试装置

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