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【发明公布】基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法_中国科学院力学研究所_202410016811.4 

申请/专利权人:中国科学院力学研究所

申请日:2024-01-05

公开(公告)日:2024-04-02

公开(公告)号:CN117804502A

主分类号:G01C25/00

分类号:G01C25/00

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要:本发明提供了一种基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法,其包括:1调节检验质量位于电极笼中心位置,且检验质量相对于电极笼的平动误差小于5μm,转动误差小于200μrad;2控制电极笼分别在XY平面、XZ平面、YZ平面上做圆周运动;3检测敏感装置在X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压,并采集该输出电压;4对输出电压进行解调处理,得到X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压幅值;5将各通道输出电压幅值与圆周运动半径作比,得到各通道的位移增益系数。本发明构思合理,能实现对电容传感器在多自由度上的高效标定,得到各通道电容传感电路电压—位移增益系数。

主权项:1.一种基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法,其特征在于,所述标定测试方法主要包括以下步骤:1调节检验质量位于电极笼中心位置,且检验质量相对于电极笼的平动误差小于5μm,转动误差小于200μrad;2控制电极笼分别在XY平面、XZ平面、YZ平面上做圆周运动;3检测敏感装置在X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压,并采集该输出电压;4对上述步骤3中的输出电压进行解调处理,得到X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压幅值;5将上述步骤4中得到的X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的输出电压幅值与圆周运动半径作比,得到X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2测量通道的位移增益系数。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院力学研究所 基于惯性传感器电容传感电路的耦合抑制标定测试方法

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