申请/专利权人：国仪清能科技(重庆)有限公司

申请日：2024-01-11

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810053A

主分类号：H01J37/20

分类号：H01J37/20;H01J37/28

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种基于电镜景深的样品台调平方法、装置和扫描电镜系统，样品台调平方法包括：多次控制样品台平移，使电子束流分别朝向样品台不在同一直线上的第一扫描位点、第二扫描位点和第三扫描位点，并在每次对扫描位点扫描时调节第一调节位点、第二调节位点和第三调节位点中至少一个的高度，使扫描电镜获得清晰度高于预设值的图像；且在调节调节位点高度的过程中需要保证已调节好的调节位点的高度不变。本发明实施例提供的技术方案，以景深作为判断依据，可以实现样品台的水平调节，无需而外增加部件，在保证系统的简洁性的同时，降低样品台的水平调节难度，从而减少调试的工作量。

主权项：1.一种基于电镜景深的样品台调平方法，其特征在于，所述样品台的顶面或顶面上包括不在同一直线上的第一调节位点、第二调节位点和第三调节位点；所述样品台的底面设置有与每一调节位点对应的高度调节件，以调节每一调节位点的高度；所述样品台的调平方法包括：确定扫描电镜的电子束流发生及控制系统参数；控制样品台平移，使扫描电镜的电子束流朝向所述样品台的第一扫描位点，并调节第一调节位点、第二调节位点和第三调节位点中至少一个的高度，使所述扫描电镜获得所述第一扫描位点清晰度高于第一预设值的图像；再次控制样品台平移，使电子束流朝向所述样品台的第二扫描位点，并在保持所述第一扫描位点的高度不变的情况下调节所述第一调节位点、所述第二调节位点和所述第三调节位点中至少一个的高度，使所述扫描电镜获得第二扫描位点清晰度高于第一预设值的图像；再次控制样品台平移，使电子束流朝向所述样品台的第三扫描位点，并在保持所述第一扫描位点和所述第二扫描位点的高度不变的情况下调节第一调节位点、第二调节位点和第三调节位点中至少一个的高度，使所述扫描电镜获得第三扫描位点清晰度高于第一预设值的图像；其中，所述第一扫描位点、第二扫描位点和第三扫描位点不在同一直线上。

全文数据：

权利要求：

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