申请/专利权人：深圳市志合云创科技有限公司

申请日：2024-03-01

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117808809A

主分类号：G06T7/00

分类号：G06T7/00;G06T7/10;G06T5/00;G06T5/70;G06T7/187;G06T7/13;G06V10/762

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及产品缺陷检测技术领域，提供了一种晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统，包括：对晶圆视觉图像进行背景去除处理，得到无背景晶圆图像，提取无背景晶圆图像对应的图像尺寸参数，对无背景晶圆图像进行平滑处理，得到平滑晶圆图像；计算平滑晶圆图像对应的像素优化权重，对平滑晶圆图像进行图像优化处理，得到优化晶圆图像，对优化晶圆图像进行聚类分割处理，得到分割晶圆图像，对分割晶圆图像进行纹理去除，得到目标晶圆图像；计算图像形状矩之间的形状相似度；提取缺陷图像对应的缺陷特征，分析目标晶圆图像对应的缺陷类别，生成目标晶圆图像对应的缺陷检测结果。本发明在于提高晶圆表面缺陷检测的准确性。

主权项：1.一种晶圆表面缺陷的视觉检测方法，其特征在于，所述方法包括：采集待检测晶圆的晶圆视觉图像，对所述晶圆视觉图像进行背景去除处理，得到无背景晶圆图像，并提取所述无背景晶圆图像对应的图像尺寸参数，结合所述图像尺寸参数，对所述无背景晶圆图像进行平滑处理，得到平滑晶圆图像；利用预设的优化函数计算所述平滑晶圆图像对应的像素优化权重，根据所述像素优化权重，对所述平滑晶圆图像进行图像优化处理，得到优化晶圆图像，对所述优化晶圆图像进行聚类分割处理，得到分割晶圆图像，对所述分割晶圆图像进行纹理去除，得到目标晶圆图像；构建所述目标晶圆图像对应的图像形状矩，结合所述目标晶圆图像，计算所述图像形状矩之间的形状相似度，根据所述形状相似度，识别出所述目标晶圆图像中的缺陷图像；识别所述缺陷图像中的缺陷位置，并提取所述缺陷图像对应的缺陷特征，根据所述缺陷特征，分析所述目标晶圆图像对应的缺陷类别，根据所述缺陷位置和所述缺陷类别，生成所述目标晶圆图像对应的缺陷检测结果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市志合云创科技有限公司 晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统

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