申请/专利权人：北京万集科技股份有限公司

申请日：2022-09-26

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117806024A

主分类号：G02B26/08

分类号：G02B26/08;G02B26/10;G01S7/484;G01S7/486;G01S17/88

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本申请提出一种MEMS振镜和激光雷达设备，其中，MEMS振镜中，慢轴磁铁和快轴磁铁设置于振镜芯片上对应慢轴支架和反射镜的背面，电磁驱动组件与振镜芯片相对设置，电磁驱动组件的线圈通电在导磁组件两端上形成变化的N极和S极，慢轴磁铁和快轴磁铁在变化的N极和S极性的作用下带动慢轴支架和快轴支架偏转，进而带动反射镜沿第一方向和或第二方向往复偏转，振镜芯片上可仅需设置小尺寸的慢轴磁铁和快轴磁铁，对应地，电磁驱动组件的尺寸同步变小，减小了MEMS振镜在雷达设备中的占用空间。

主权项：1.一种MEMS振镜，其特征在于，包括：振镜芯片，所述振镜芯片包括反射镜、快轴支架、慢轴支架、快轴磁铁和慢轴磁铁，所述反射镜安装于所述快轴支架中，所述快轴支架活动连接于所述慢轴支架上，所述快轴磁铁设置于所述反射镜的背面，所述慢轴磁铁设置于所述慢轴支架的背面且远离所述快轴支架的法线设置，其中，所述快轴支架沿第一方向往复偏转，所述慢轴支架沿第二方向往复偏转，所述第一方向与所述第二方向垂直交叉；与所述振镜芯片的背面间隔相对设置的电磁驱动组件，所述电磁驱动组件包括导磁组件和绕制于所述导磁组件的线圈，所述导磁组件沿所述快轴支架的法线相对设置，所述线圈用于输入叠加的第一交流信号和第二交流信号，所述第一交流信号的频率大于所述第二交流信号的频率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京万集科技股份有限公司 MEMS振镜和激光雷达设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD