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【发明公布】提供对称射频返回路径的工艺模块室_朗姆研究公司_202280056363.X 

申请/专利权人:朗姆研究公司

申请日:2022-08-04

公开(公告)日:2024-04-02

公开(公告)号:CN117813680A

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687

优先权:["20210812 US 63/232,590"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要:包括具有顶板和底部的多站处理室的装置包围站,每一站包含基座组件。位于站之间的中心的心轴被配置成围绕中心轴线旋转,并电连接至底部。致动器控制心轴在Z方向上的移动。连接至心轴的转位器随心轴旋转,并包括延伸部,其各自被配置成与对应衬底接合以进行衬底传送。可移动地连接至顶板的导电接口提供RF返回路径。耦合至接地接口的另一致动器控制导电接口在Z方向上的移动。当等离子体处理期间多个延伸部的每一个停放且心轴移至较低位置时,导电接口在Z方向上向下移动以与转位器接触。

主权项:1.一种装置,其包括:多站处理室,其包括顶板和底部,所述多站处理室被配置成包围多个站,其各自包括基座组件以支撑衬底以供处理;心轴,其位于所述多个站之间的中心并被配置成围绕中心轴线旋转,其中所述心轴电连接至所述底部;第一致动器,其耦合至所述心轴并被配置用于控制所述心轴于Z方向上的移动;转位器,其连接至所述心轴并被配置成随所述心轴旋转,其中所述转位器包括多个延伸部,其各自被配置成与对应衬底接合以往来于站传送;导电接口,其能移动地连接至所述顶板;以及第二致动器,其耦合至所述导电接口并被配置用于控制所述导电接口于所述Z方向上的移动;其中所述导电接口被配置成:当等离子体处理期间所述多个延伸部中的每一个停放且所述心轴移动至较低位置时,在所述Z方向上向下移动以与所述转位器接触。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 朗姆研究公司 提供对称射频返回路径的工艺模块室

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