申请/专利权人：巴隆株式会社

申请日：2023-01-17

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117813914A

主分类号：H05B3/06

分类号：H05B3/06;F16L53/38;H05B3/52;H01L21/67

优先权：["20220801 KR 10-2022-0095461"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及管道用除粉装置制造方法及设置方法，更具体地，涉及用于防止在暴露于从半导体和显示器的基板处理装置等排出的未反应原料气体、反应产物等废气物质流中的管道内周面附着和堆积废气物质的管道用除粉装置的制造方法及设置方法。上述的制造方法包括：加热器制造步骤S1，包括通过将连接到电源的热线设置在金属管内部并填充绝缘体来制造中间产品的步骤S11和切割上述中间产品并连接暴露的热线的一端部的步骤S12；缠绕步骤S2，通过将上述加热器缠绕在夹具上来制造具有预定外径且至少一部分插入到管道内部的加热线圈；及结合步骤S3，通过将上述加热线圈的端部插入到形成在金属法兰的暴露孔来结合上述法兰和上述加热线圈。

主权项：1.一种管道用除粉装置的制造方法，其特征在于，包括：加热器制造步骤S1，包括通过将连接到电源的热线设置在金属管内部并填充绝缘体来制造中间产品的步骤S11和切割上述中间产品并连接暴露的热线的一端部的步骤S12；缠绕步骤S2，通过将上述加热器缠绕在夹具上来制造具有预定外径且至少一部分插入到管道内部的加热线圈；及结合步骤S3，通过将上述加热线圈的端部插入到形成在金属法兰的暴露孔来结合上述法兰和上述加热线圈。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 巴隆株式会社 管道用除粉装置制造方法及设置方法

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