申请/专利权人：辛耘企业股份有限公司

申请日：2022-09-26

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810115A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明提供一种基板处理装置及其排气方法，该基板处理装置包含一制程槽、一制程机构、一气液分离腔、一排气管路及一控制器。制程机构容置在制程槽内。气液分离腔连通制程槽。排气管路连接气液分离腔及一负压源，排气管路设置有一气闸，气闸连接一致动器。控制器电性连接制程机构及致动器。借由气闸对应制程机构执行的制程步骤调节排气管路内部的压力以减少工作流体经排气管路耗损。

主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，包含：一制程槽；一制程机构，容置在该制程槽内；一气液分离腔，连通该制程槽；一排气管路，连接该气液分离腔及一负压源，该排气管路设置有一气闸，该气闸连接一致动器；及一控制器，电性连接该制程机构及该致动器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 辛耘企业股份有限公司 基板处理装置及其排气方法

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