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【发明公布】一种窄线宽激光波长检测装置及方法_中电科思仪科技股份有限公司_202311515184.0 

申请/专利权人:中电科思仪科技股份有限公司

申请日:2023-11-14

公开(公告)日:2024-04-02

公开(公告)号:CN117804612A

主分类号:G01J9/00

分类号:G01J9/00

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.04.02#公开

摘要:本发明公开了一种窄线宽激光波长检测装置及方法,属于检测技术领域。本发明通过偏振分光、光路开关、偏振无关分光的综合分光方案,基于光栅衍射角度、F‑P标准具的透射率对波长的选择特性,采用衍射光栅宽带滤波、单F‑P标准具错峰透射设计,通过基于衍射光栅滤波、双级F‑P标准具错峰透射的逐次波长标定的方法,实现高稳定、大范围、高精度波长检测;解决了现有波长检测方案对入射光偏振态敏感的问题;利用特殊设计分光棱镜,单个F‑P标准具可实现双路错峰透射,大大降低了成本与装配工艺要求;所发明的基于衍射光栅滤波结合两级F‑P标准具的三级逐次波长标定的方法,提高了检测波长范围,提高了检测精度,可实现多波长测量。

主权项:1.一种窄线宽激光波长检测装置,其特征在于:包括滤波装置、偏振光强选择装置、偏振无关分光装置、第一波长检测装置、第二波长检测装置、第一光电探测器、第二光电探测器、第三光电探测器、第四光电探测器和第五光电探测器;滤波装置、偏振光强选择装置、偏振无关分光装置和第五光电探测器通过线路依次连接,偏振无关分光装置分别与第一波长检测装置和第二波长检测装置通过线路连接,第一波长检测装置分别与第一光电探测器、第二光电探测器通过线路连接,第二波长检测装置分别与第三光电探测器、第四光电探测器通过线路连接;其中,滤波装置,被配置为用于接收入射待测光,对入射待测光进行滤波,不同的入射待测光波长在不同的时间或空间出射;偏振光强选择装置,被配置为用于消除入射光的偏振特性或者选择特定的入射偏振态;偏振无关分光装置,被配置为用于将偏振光强选择装置选择的光束进行分光,共三个出射光,第一路出射光入射至第五光电探测器,第二路出射光入射至第一波长检测装置,第三路出射光入射至第二波长检测装置;第一波长检测装置,被配置为用于波长细定位;第二波长检测装置,被配置为用于波长精细定位;第一光电探测器,被配置为用于接收第一波长检测装置的第一路出射光,将光信号转换为电信号;第二光电探测器,被配置为用于接收第一波长检测装置的第二路出射光,将光信号转换为电信号;第三光电探测器,被配置为用于接收第二波长检测装置的第一路出射光,将光信号转换为电信号;第四光电探测器,被配置为用于接收第二波长检测装置的第二路出射光,将光信号转换为电信号;第五光电探测器,被配置为用于接收偏振无关分光装置的第一路出射光,将光信号转换为电信号。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中电科思仪科技股份有限公司 一种窄线宽激光波长检测装置及方法

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