申请/专利权人：赫姆霍茨中心柏林材料与能源有限公司;马克斯·普朗克科学促进协会

申请日：2022-07-20

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117813518A

主分类号：G01Q70/14

分类号：G01Q70/14;G01Q70/16

优先权：["20210721 EP 21186969.8"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及一种用于处理测量探针的方法，该测量探针用于检测表面性质或用于在亚微米范围内改变表面结构。该方法包括至少以下步骤：首先，提供包含可通过光或电子束聚合的分子的前体和测量探针，该测量探针包括至少一个具有尖端的载体，该尖端具有与载体相对的上端和用于发射具有一定波长和强度的光或电子束的光或电子源，该光或电子束实现至少前体聚合所需的能量输入，和用于可变定位光或电子源的装置，和控制文件和电子数据处理系统，其中控制文件描述测量探针表面的至少一部分，并用于控制光或电子源的位置变化。在随后的步骤中，用前体覆盖测量探针，并将测量探针布置在光或电子束的束路径中，于是前体在彼此接触并在控制文件中指定的几个位置处暴露于光或电子束，从而留出测量探针的尖端。然后，通过水浴或溶剂浴或受控的空气或气流除去前体的未暴露区域，并且如果需要，最终使通过暴露聚合的区域显影。本发明还包括使用本发明的方法制造的测量探针。

主权项：1.用于处理用于检测表面性质或用于在亚微米范围内改变表面结构的测量探针的方法，包括至少以下步骤提供含有可通过光或电子束聚合的分子的前体；测量探针，其包括至少一个载体，所述载体具有尖端，所述尖端具有与所述载体相对的上端；光源或电子源，用于发射具有满足前体聚合所需的最小能量输入的波长和强度的光或电子束；用于所述光源或电子源的可变定位的装置；控制文件和电子数据处理系统，所述控制文件描述所述测量探针的表面的至少一部分，并且用于控制所述光源或电子源的位置的改变；用所述前体覆盖所述测量探针，并将所述测量探针定位在光或电子束的束路径中；在所述控制文件中指定的几个接触位置处用光或电子束暴露所述前体，留出所述测量探针的尖端，随后使用水或溶剂浴或受控的空气或气流除去所述前体的未暴露区域。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 赫姆霍茨中心柏林材料与能源有限公司;马克斯·普朗克科学促进协会 一种用于处理测量探针以记录表面性质或用于在亚微米范围内改变表面结构的方法以及测量探针

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