申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2022-04-19

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117813180A

主分类号：B24B49/14

分类号：B24B49/14;B24B7/04;B24B41/06;B24B49/16;H01L21/304;H01L21/677

优先权：["20210924 JP 2021-155329"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及研磨装置、基板处理装置以及研磨方法。研磨装置具备研磨单元22。研磨单元22具备：在将基板W保持为水平姿态的状态下使基板W旋转的保持旋转部35；对基板W进行加热的热板45；以及包含分散有磨粒的树脂体的研磨工具96，该研磨工具96与在被加热的同时旋转的基板W的背面接触，通过化学机械磨削方式对基板W的背面进行研磨。

主权项：1.研磨装置，其为具备研磨单元的研磨装置，其特征在于，所述研磨单元具备：保持旋转部，其在将基板保持为水平姿态的状态下使所述基板旋转；对所述基板进行加热的加热机构；和研磨工具，其包含分散有磨粒的树脂体，与在被加热的同时旋转的所述基板的背面接触从而通过化学机械磨削方式对所述基板的背面进行研磨。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 研磨装置、基板处理装置以及研磨方法

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