申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2022-09-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117813670A

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32

优先权：["20211004 US 17/449,844"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本文描述了一种腔室部件，所述腔室部件包括包含镍的金属层和在金属层之上的氧化镍阻挡层。氧化镍阻挡层可通过用包含氢氟酸和或硝酸的氧化剂处理腔室部件来形成。

主权项：1.一种用于处理腔室的腔室部件，所述腔室部件包括：主体；金属镀层，所述金属镀层在所述主体的至少一个表面上，所述金属镀层包括镍；以及阻挡层，所述阻挡层在所述金属镀层上，其中所述阻挡层包括氧化镍。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于处理腔室部件的先进阻挡氧化镍(BNiO)涂层形成

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