申请/专利权人：北京珂阳科技有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117808425A

主分类号：G06Q10/10

分类号：G06Q10/10;H01L21/67;G06Q50/04;G06F16/25;G06F16/27

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种基于酸洗工艺失效约束条件的机台派工方法以及系统，通过建立一个优化模型，以最小化晶圆组的失效率和炉管设备的空闲时间为目标函数，以晶圆组的酸洗工艺失效约束为约束条件，求解该优化模型，得到最优的派工方案，提高半导体制造的效率和利用率。根据晶圆组的到站时间点、酸洗工艺加工结束时间点、失效时间点、炉管工艺配方和制程时间等信息，以及炉管设备的空闲时间、可用性、能力和兼容性等信息，实现晶圆组和炉管设备之间的智能匹配，减少人为干预和错误，提高半导体制造的稳定性和可靠性。能够有效地解决酸洗工艺失效约束条件下的机台派工问题，提高生产效率和质量，降低成本和资源浪费。

主权项：1.一种基于酸洗工艺失效约束条件的机台派工方法，其特征在于，包括以下步骤：2.步骤一：数据同步，通过触发器实时捕获生产数据变更，借助数据同步工具将炉管工艺和酸洗工艺需要的相关数据同步到派工系统；步骤二：建立智能算法模型：包括，子步骤一，对于已开始酸洗工艺的晶圆组，以最小化失效晶圆组的数量为求解目标，迭代计算后获取加工时间段内多个批次的加工任务对应的晶圆组、炉管机台、炉管工艺加工配方和计划开始炉管工艺时间点的数据组合信息；子步骤二，用于对未开始酸洗工艺的晶圆组分配至酸洗机台进行加工，以各晶圆组的酸洗工艺加工结束时间点早于计划开始炉管工艺时间点，失效时间点晚于计划开始炉管工艺时间点为约束，计算后获取未开始酸洗工艺的晶圆组、酸洗机台和计划进入酸洗机台的时间点的组合信息；步骤三：数据整合，包括需要分派的晶圆组、炉管机台、炉管工艺加工配方、炉管工艺制程时间、到站时间点、炉管机台加工结束时间点以及失效时间点的关系组合信息；未开始酸洗工艺的晶圆组、酸洗制程时间以及酸洗工艺失效时间段的关系组合信息，其中，晶圆组，由若干个晶圆片被绑定后的晶圆片的组合，若干个晶圆组绑定组成一个加工组；炉管机台，完成对加工组进行炉管工艺处理；酸洗机台，用于对未开始酸洗工艺的晶圆组进行酸洗工艺处理；炉管工艺配方，加工组在炉管机台中进行炉管工艺加工的参数信息；炉管工艺制程时间，炉管机台应用炉管工艺加工配方对加工组进行炉管工艺处理需要的时间；到站时间点：当晶圆组已经完成酸洗工艺后则到站时间点为到达炉管工艺的时间点；当晶圆组还未开始酸洗工艺：统计酸洗工艺的晶圆组历史平均等待时间和酸洗工艺的晶圆组历史平均加工时间，如果当前晶圆组已经等待时间超过历史平均等待时间，则到站时间点为当前时间点加上在酸洗工艺的历史平均加工时间；如果当前晶圆组已经等待时间未超过历史平均等待时间，则到站时间点为当前时间点加上在酸洗工艺的历史平均加工时间和剩余等待时间之和；当晶圆组已经开始酸洗工艺但未完成酸洗工艺：统计酸洗工艺的晶圆组历史平均加工时间，如果当前晶圆组已经加工时间超过晶圆组历史平均加工时间，则到站时间点为当前时间点；如果当前晶圆组已经加工时间未超过晶圆组历史平均加工时间，则到站时间点为当前时间点加上剩余加工时间；炉管机台加工结束时间点，为上一批次的炉管机台加工任务完成的时间点，通过以下方法得到：当炉管机台处于空闲状态下最近加工任务结束的时间点为炉管机台加工结束时间点，或者当炉管机台处于加工状态下：如果炉管机台已经加工时间超过炉管工艺制程时间，则炉管机台加工结束时间点为当前时间点；如果炉管机台已经加工时间未超过炉管工艺制程时间则炉管机台加工结束时间点为当前时间点加上剩余制程时间；失效时间点，晶圆组在结束酸洗工艺后失效的时间点；酸洗制程时间，晶圆组在相应的酸洗机台中进行酸洗工艺处理所需要经过的时间；酸洗工艺失效时间段，未开始酸洗工艺的晶圆组开始酸洗工艺的时间点到失效时间点之间的时间段；步骤四：导入整合好的数据，并运用智能算法模型进行计算，得出计划开始炉管工艺时间点、计划进入酸洗机台时间点；其中，计划开始炉管工艺时间点，为各个批次机台加工任务计算获取的开始时间点；计划进入酸洗机台时间点，为计算获取都晶圆组在酸洗机台中的酸洗工艺处理的开始时间点；运用智能算法模型进行计算，得出在加工时间段内，晶圆组绑定成为加工组、炉管机台、炉管工艺加工配方和计划开始炉管工艺时间点组合信息；以及得出未开始酸洗工艺的晶圆组、酸洗机台和计划进入酸洗机台时间点的组合信息；步骤五：派工系统根据步骤四中所得出的全部未开始酸洗工艺的晶圆组、酸洗机台和计划进入酸洗机台时间点的组合信息，对未开始酸洗工艺的晶圆组进行酸洗工艺派工；和或，派工系统根据步骤四中所得出的晶圆组绑定成为加工组、炉管机台、炉管工艺配方和计划开始炉管工艺时间点的组合信息，对晶圆组进行炉管工艺派工。

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