申请/专利权人：马克斯·普朗克科学促进学会

申请日：2021-08-06

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117813416A

主分类号：C23C14/28

分类号：C23C14/28;B01J3/03;B23K26/064;B23K26/12;B23K26/352;B23K26/362;C23C14/52;C23C14/54;G02B7/00;C21D8/06

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.02#公开

摘要：本发明有关一种与反应腔70配合使用的光学元件10，该反应腔70特别是热激光蒸发系统的反应腔70，该反应腔70具有腔壁72，该反应腔70的凸缘80设置在该腔壁72中的开口74处。此外，本发明有关一种反应腔70，特别是热激光蒸发系统的反应腔70，包括用于包围可密封的反应容积的腔壁72，该反应容积特别地可相对于环境气氛密封，该反应容积可填充有反应气氛90，该反应腔70进一步包括设置在该腔壁72中的开口74处的凸缘80。

主权项：1.一种与反应腔70配合使用的光学元件10，该反应腔70特别是热激光蒸发系统的反应腔70，该反应腔70具有腔壁72，该反应腔70的凸缘80设置在该腔壁72中的开口74处，其中，该光学元件10包括一体式本体12，该一体式本体12具有沿中心本体轴线14彼此相对设置的环境端30和腔室端40，其中，在该光学元件10的组装状态下，该环境端30设置在该反应腔70外且该腔室端40设置在该反应腔70内，其中，该本体12的环境端30包括用于密封该反应腔70的凸缘80的密封器件32，以及其中，该腔室端40包括用于在该反应腔70内反射电磁辐射100和或使该电磁辐射100成形和或吸收该电磁辐射100的光学表面46。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 马克斯·普朗克科学促进学会 光学元件及反应腔

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