申请/专利权人：南京中安半导体设备有限责任公司

申请日：2023-12-18

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117805132A

主分类号：G01N21/95

分类号：G01N21/95

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本公开提供一种适用于晶圆检测的光学检测装置和光学检测系统。该光学检测装置包括光源组件、光路系统和光电探测器。光源组件用于照射晶圆的表面并产生信号光。光路系统包括分光组件，用于接收信号光，并将信号光分成至少两个不同波段的光。光电探测器被配置为在不重叠的空间位置同时接收经过光路系统传输的至少两个波段的光，并输出至少两个波段的光对应的电信号。通过光电探测器不重叠的空间位置接收多个不同波段的光，有助于减少使用多个探测器，从而降低检测成本。此外，不需要或者较少的需要复杂的同步系统，因而不会或较少的出现同步造成的误差，从而有助于提高晶圆检测的准确性，进而提高晶圆在生产制造中的质量控制和整个产品的良率。

主权项：1.一种光学检测装置，适用于晶圆检测，其特征在于，包括：光源组件，用于照射所述晶圆的表面并产生信号光；光路系统，包括分光组件，用于接收所述信号光，并将所述信号光分成至少两个不同波段的光；光电探测器，被配置为在不重叠的空间位置接收经过所述光路系统传输的至少两个不同波段的光，并输出所述至少两个不同波段的光对应的电信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京中安半导体设备有限责任公司 光学检测装置和光学检测系统

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