申请/专利权人：东莞思沃智能装备有限公司

申请日：2024-01-16

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117806131A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;B65G49/06;H01L31/18;H01L31/0224;H01L21/677

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及光伏电池片生产技术领域，公开了一种接近式精密栅线图形曝光设备，包括：转盘，转盘上圆周阵列设置有若干个用于定位电池片的定位治具；上料装置，用于将电池片输送至设定上料工位上的定位治具上；接近式曝光机，设置于转盘的顶部一侧，用于对定位治具中的电池片进行曝光；下料装置，用于取走设定下料位上的定位治具上的硅片；其中，接近式曝光机包括曝光光源和驱动装置；驱动装置用于驱动曝光光源向预设路线移动，以使曝光光源的出光端至硅片的距离保持在设定距离范围内。本发明的接近式精密栅线图形曝光设备，能有利于降低电池的生产成本和提升电池的曝光生产效率。

主权项：1.一种接近式精密栅线图形曝光设备，其特征在于，包括：转盘1，所述转盘1上圆周阵列设置有若干个用于定位电池片的定位治具101；上料装置2，用于将电池片输送至设定上料工位上的定位治具101上；接近式曝光机3，设置于所述转盘1的顶部一侧，用于对所述定位治具101中的电池片进行曝光；下料装置4，用于取走设定下料位上的定位治具101上的硅片；其中，所述接近式曝光机3包括曝光光源和驱动装置；所述曝光光源用于向设置有感光层的硅片射出相互平行的曝光光线，以在硅片上制备出固化栅线图形，所述固化栅线图形用于在铜电镀工艺中吸引铜离子形成铜栅线；所述驱动装置用于驱动所述曝光光源向预设路线移动，以使所述曝光光源的出光端至硅片的距离保持在设定距离范围内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞思沃智能装备有限公司 一种接近式精密栅线图形曝光设备

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