申请/专利权人：安徽工业大学

申请日：2021-06-11

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN113552388B

主分类号：G01Q30/02

分类号：G01Q30/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.11.12#实质审查的生效;2021.10.26#公开

摘要：本发明公开了一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置，包括箱体、气密性检测机构、强度检测机构、夹持机构和旋转机构，所述气密性检测机构设置于箱体的顶部，所述强度检测机构设置于箱体内腔的下端，旋转机构设置于箱体的底部。本发明通过气泵和输气管构成了气密性检测机构，用于对扫描电镜组件的气密性进行检测的效果，通过气缸、固定杆、限位环、固定架、固定环和敲击锤构成了强度检测机构，用于对扫描电镜组件的气密性和强度进行检测的效果，实现了对扫描电镜组件进行气密性和强度检测的目的，提高了装置的创造性和使用性，增强了使用者的使用体验，解决了目前还未出现对扫描电镜组件进行气密性和强度检测装置的问题。

主权项：1.一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测装置，包括箱体1、气密性检测机构2、强度检测机构3、夹持机构4和旋转机构5，其特征在于：所述气密性检测机构2设置于箱体1的顶部，所述强度检测机构3设置于箱体1内腔的下端，所述旋转机构5设置于箱体1的底部，所述夹持机构4设置于旋转机构5上；所述气密性检测机构2包括气泵201，所述气泵201的出气端连通有输气管202，所述输气管202远离气泵201的一端贯穿至箱体1的内腔；所述强度检测机构3包括气缸301、固定杆302、限位环303、固定架304、固定环305和敲击锤306，所述气缸301设置于箱体1内腔的下端，所述固定杆302与箱体1内腔的两侧固定连接，所述固定杆302的表面与限位环303滑动连接，所述限位环303的顶部与固定架304固定连接，所述固定架304的一侧通过支架与敲击锤306固定连接，所述固定环305设置于固定架304的内腔，所述气缸301的输出端与固定环305固定连接；所述夹持机构4包括滑杆401、压簧402、滑块403和挤压板404，所述滑杆401的表面与压簧402活动连接，所述滑杆401的表面与滑块403滑动连接，所述滑块403的顶部与挤压板404固定连接；所述旋转机构5包括电机501，所述电机501的输出端贯穿至箱体1的内腔并固定连接有转盘502；所述箱体1的底部固定连接有支撑组件，且支撑组件的数量为四个；所述箱体1内腔的中心处固定连接有固定板6，所述固定板6的顶部铺设有荧光粉；所述转盘502顶部的两侧均开设有凹槽7，所述滑杆401与凹槽7的内壁固定连接，所述箱体1的底部固定连接有限位架8，所述限位架8内腔的底部与电机501固定连接；所述气缸301的两侧均活动连接有转杆9，所述转杆9远离气缸301的一端与箱体1固定连接；其使用方法包括以下步骤：A、首先将需测试气密性的扫描电镜的测试组件放置于固定板6上，然后将输气管202与测试组件进行连通，之后打开气泵201，气泵201将气体输送至测试组件的内腔，通过荧光粉的漂浮对测试组件的气密性进行观察；B、然后将需要测试强度的测试组件放置于转盘502上，之后向两侧挤压挤压板404，挤压板404带动滑块403移动，滑块403对压簧402进行挤压，压簧402受到挤压产生反向力，将测试组件进行夹持固定；C、之后打开电机501和气缸301，电机501带动转盘502转动，转盘502带动测试组件转动，同时气缸301带动固定环305移动，固定环305带动固定架304移动，固定架304带动敲击锤306移动，以此对测试组件进行击打。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽工业大学 一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置

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