申请/专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院

申请日：2020-11-27

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN112630120B

主分类号：G01N15/08

分类号：G01N15/08;G01N29/07;G01N29/44;G01N23/2251

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2021.04.27#实质审查的生效;2021.04.09#公开

摘要：本发明提供了一种测量涂层孔隙率模型的建立方法及该模型的使用方法，其中测量涂层孔隙率模型根据SEM照片原位建模原理构建，较其他方法更接近涂层中孔隙的实际形貌，孔隙率不同的模型孔隙形貌基本保持一致，且遵循了控制单一变量的原则，使得孔隙率仅随纵波声速变化，研究结果更具针对性、严密性和说服力。测量涂层孔隙率模型的使用方法为通过对涂层的超声反射回波信号幅度谱进行分析，得到不同孔隙率下的涂层纵波声速变化率，进而根据关系模型，确定涂层的孔隙率。本发明测量过程对涂层无损，且测量误差小。

主权项：1.一种测量涂层孔隙率模型的建立方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S01，建立一系列孔隙形貌、孔隙分布相同但孔隙率不同的涂层物理模型；步骤S02，对每个所述涂层物理模型进行超声数值模拟计算得到时域信号，将所述时域信号进行频谱分析处理得到声压反射系数幅度谱，从所述声压反射系数幅度谱中得到每个涂层物理模型对应的涂层谐振频率；步骤S03，基于每个所述涂层物理模型对应的所述涂层谐振频率计算获得每个所述涂层物理模型的涂层纵波声速；步骤S04，基于每个所述涂层物理模型的所述涂层纵波声速和预先设置好的密实涂层纵波声速得到每个所述涂层物理模型对应的涂层纵波声速变化率；步骤S05，对每个所述涂层物理模型的所述孔隙率与所述涂层纵波声速变化率进行拟合得到所述测量涂层孔隙率模型；所述步骤S01中，所述涂层物理模型为根据SEM照片原位建模原理构建出的与ZrO2涂层实际孔隙形貌有较高相似度的物理模型，通过计算机程序算法读取图像中孔隙面积与整个图像面积之比得到涂层物理模型的孔隙率，且孔隙率的变化范围为5.7%—28.5%；所述步骤S05中，所述孔隙率与所述涂层纵波声速存在如公式c＝c01.05-2.09P所示的关系模型，式中c是涂层纵波声速，c0是密实涂层纵波声速为4686.15ms，P是涂层孔隙率。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院深圳先进技术研究院 一种测量涂层孔隙率模型的建立方法及该模型的使用方法

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