申请/专利权人：苏州斯玛图智能设备有限责任公司

申请日：2023-08-04

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220697533U

主分类号：B07C5/38

分类号：B07C5/38;B07C5/34

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型提供了一种硅片检测剔除装置，目的是解决现有硅片生产中，在后端通过单独的设备进行剔除时效率低、成本高的技术问题。该装置包括：依硅片传输方向依序布置的检测机构和剔除机构；所述剔除机构出料端处设置有供接纳不合格硅片的料盒组件；所述剔除机构包括：支架、传输架及气缸；所述传输架的一端通过转轴与所述支架转动连接，另一端与所述气缸的工作端相连接；其中，所述传输架在所述气缸的带动下可绕所述转轴在预设的角度范围内转动，以将所述检测机构检测的不合格硅片倒入在所述料盒组件中。本实用新型可以简化工序，提高生产效率，还能节省设备费用，减少碎片率。

主权项：1.一种硅片检测剔除装置，其特征在于，包括：依硅片传输方向依序布置的检测机构（1）和剔除机构（2）；所述剔除机构（2）出料端处设置有供接纳不合格硅片的料盒组件（3）；所述剔除机构（2）包括：支架（21）、传输架（22）及气缸（24）；所述传输架（22）的一端通过转轴（211）与所述支架（21）转动连接，另一端与所述气缸（24）的工作端相连接；其中，所述传输架（22）在所述气缸（24）的带动下可绕所述转轴（211）在预设的角度范围内转动，以将所述检测机构（1）检测的不合格硅片倒入在所述料盒组件（3）中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州斯玛图智能设备有限责任公司 一种硅片检测剔除装置

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