申请/专利权人：芜湖东旭光电装备技术有限公司;芜湖中浦智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220703864U

主分类号：C30B29/20

分类号：C30B29/20;C30B17/00;F27D19/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本申请涉及一种蓝宝石生长炉功率控制系统，包括：功率调节器，功率调节器连接蓝宝石生长炉的加热电源；传感器组，传感器组包括温度传感器组，蓝宝石生长炉包括电极冷却水箱、炉体冷却水箱和隔离箱冷却水箱，温度传感器组包括多个温度传感器，多个温度传感器分别设置在电极冷却水箱、炉体冷却水箱和隔离箱冷却水箱的回水位置处；控制器，控制器电连接功率调节器和传感器组；远程工控机，远程工控机与控制器通讯连接。本申请的蓝宝石生长炉功率控制系统，通过间接方式利用回水温度监控蓝宝石生长炉各部分的实际温度并反馈至控制器，克服了现有传感器结构单一、直接安装到炉体内存在安装困难的技术问题，能够实现蓝宝石生长炉的功率全面准确控制。

主权项：1.一种蓝宝石生长炉功率控制系统，其特征在于，包括：功率调节器100，所述功率调节器100连接蓝宝石生长炉500的加热电源501；传感器组200，所述传感器组200包括温度传感器组201，所述蓝宝石生长炉500包括电极冷却水箱、炉体冷却水箱和隔离箱冷却水箱，所述温度传感器组201包括多个温度传感器，多个所述温度传感器分别设置在所述电极冷却水箱、所述炉体冷却水箱和所述隔离箱冷却水箱的回水位置处；控制器300，所述控制器300电连接所述功率调节器100和所述传感器组200；远程工控机400，所述远程工控机400与所述控制器300通讯连接。

全文数据：

权利要求：

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