申请/专利权人：扬州六如新能源科技有限公司

申请日：2023-08-25

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220697639U

主分类号：B08B3/10

分类号：B08B3/10;B08B13/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型公开了单晶硅片技术领域的一种单晶硅片清洗装置，包括装置组件，其包括装置主体，所述装置主体的上方连接有支板，所述支板的下方内侧设置有电动推杆，所述电动推杆的下方连接有放置板；限位机构，其包括联动块，所述联动块的上方开设有滑动槽，所述滑动槽的内部连接有滑动块，所述联动块的左侧连接有第二磁石，所述联动块的下方连接有第一限位块；清洗组件，通过设置有第一限位块与其下方的辅助块进行配合，使得第一限位块在上下升降的过程中会进行左右移动，从而改变对单晶硅片的夹持位置，使得单晶硅片在清洗过程中不会出现夹持处无法进行清洗的问题，使得清洗效果更好。

主权项：1.一种单晶硅片清洗装置，其特征在于：包括，装置组件100，其包括装置主体101，所述装置主体101的上方连接有支板102，所述支板102的下方内侧设置有电动推杆103，所述电动推杆103的下方连接有放置板104；限位机构200，其包括联动块201，所述联动块201的上方开设有滑动槽205，所述滑动槽205的内部连接有滑动块206，所述联动块201的左侧连接有第二磁石204，所述联动块201的下方连接有第一限位块207；清洗组件300，其包括延伸杆301，所述延伸杆301位于放置板104的两侧，所述延伸杆301的下方连接有圆形块306，所述圆形块306的下方插入圆形槽305的内部，所述圆形槽305位于第三限位块304的表面，所述第三限位块304的中心开设有夹持槽307。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 扬州六如新能源科技有限公司 一种单晶硅片清洗装置

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