申请/专利权人：钢研纳克检测技术股份有限公司

申请日：2024-01-12

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117850528A

主分类号：G05F1/567

分类号：G05F1/567;H01J49/26;G01R31/40

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供了一种射频电源的校准装置，属于校准装置技术领域。本发明包括电压采样电路，用于采集射频电源的输出电压值，并输出稳定的电流信号；数据采集电路，用于接收稳定的电流信号，并转换为电压信号后进行增益调节；温控电路，控制电压采样电路工作的恒温状态；控制器，用于接收增益后的输出电压值和温控电路输出的温度信号；控制器将接收的增益后的输出电压值与理论值进行比较，不断地调节被测射频电源的电路，使输出电压值与理论值保持一致；控制器将接收的温度信号与设定值进行比较，不断地调节维持电压采样电路工作的恒温状态。本发明实现了射频电源输出电压的线性和精度的准确性，保证了一致性，节省了硬件的成本。

主权项：1.一种射频电源的校准装置，其特征在于，包括：电压采样电路，用于采集射频电源的输出电压值，并经转换后输出稳定的电流信号；数据采集电路，用于接收所述电压采样电路输出的稳定的电流信号，并将其转换为电压信号后进行增益调节，获得增益后的输出电压值；温控电路，用于控制所述电压采样电路工作的恒温状态；控制器，其用于接收所述数据采集电路输出的增益后的输出电压值和所述温控电路输出的所述电压采样电路工作时的温度信号；所述控制器将接收的增益后的输出电压值与理论值进行比较，不断地调节被测射频电源的电路，使被测射频电源的输出电压值与理论值保持一致；所述控制器将接收的温度信号与设定值进行比较，不断地调节维持所述电压采样电路工作的恒温状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 钢研纳克检测技术股份有限公司 射频电源的校准装置及其应用

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