申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2023-11-27

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117845324A

主分类号：C30B25/12

分类号：C30B25/12;C30B25/08;C30B25/16;C23C16/458;C23C16/52

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供了一种MOCVD用托盘组件、反应腔、晶圆温度调控方法。本发明通过设置多个加热件，每个加热件可独立加热以控制托盘本体沿半径方向具有不同的温度分布，通过控制托盘本体的转速，进而使得晶圆在凹槽内朝沿靠近或远离托盘本体中心轴线方向移动，当晶圆在凹槽内移动到托盘本体不同半径处的位置，该半径位置的托盘本体处于设定的温度，此时该位置的托盘本体与晶圆进行热交换，由于晶圆质量小，该半径位置托盘本体已经处于设定温度，当晶圆移动到凹槽其它位置处，同样与该半径位置的托盘本体与晶圆进行热交换，因此可快速改变晶圆温度；本发明的托盘组件结构简单，操作方便，兼容目前主流MOCVD设备，具备广阔的应用前景。

主权项：1.一种MOCVD用托盘组件，其特征在于，包括：托盘本体，可绕其中心轴线方向转动设置，所述托盘本体上表面设有凹槽，所述凹槽用以承载晶圆；多个加热件，其沿所托盘本体半径方向设置于所述托盘本体上，每个所述加热件可独立的对所述托盘本体加热以控制所述托盘本体沿半径方向具有不同的温度分布；转速控制单元，其连接于所述托盘本体中心轴线处，所述转速控制单元带动托盘本体绕其中心轴线旋转以使所述晶圆处于所述凹槽内不同位置；其中，所述转速控制单元控制所述托盘本体转速的变化，使得所述晶圆由匀速圆周运动变成离心运动，所述晶圆朝远离所述托盘本体中心轴线一侧运动；所述转速控制单元控制所述托盘本体转速的变化，使得所述晶圆由匀速圆周运动变成向心运动，所述晶圆朝靠近所述托盘本体中心轴线一侧运动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种MOCVD用托盘组件、反应腔、晶圆温度调控方法

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