申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2024-01-11

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117849435A

主分类号：G01R19/00

分类号：G01R19/00;G01R1/02

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本申请公开了一种静电卡盘电源回路电流的检测装置及半导体工艺设备。其中，该装置包括：采样电阻，采样电阻串联于静电卡盘电源的输出端；运算放大器，运算放大器的输入正端与采样电阻的输入端连接，运算放大器的输入负端与采样电阻的输出端连接，运算放大器的参考电位端用于输入第一参考电压，第一参考电压与静电卡盘电源的输出端的输出电压之间的绝对电压差小于运算放大器的耐受电压差，运算放大器的供电端用于输入第一供电电压，第一供电电压比第一参考电压高预设的第一电压值，运算放大器的输出端用于输出与回路电流成比例的电压信号。本申请采用非高压隔离的普通运算放大器即可，降低了成本，提高了电流检测的准确性。

主权项：1.一种静电卡盘电源回路电流的检测装置，其特征在于，包括：采样电阻，所述采样电阻串联于所述静电卡盘电源的输出端；运算放大器，所述运算放大器的输入正端与所述采样电阻的输入端连接，所述运算放大器的输入负端与所述采样电阻的输出端连接，所述运算放大器的参考电位端用于输入第一参考电压，所述第一参考电压与所述静电卡盘电源的输出端的输出电压之间的绝对电压差小于所述运算放大器的耐受电压差，所述运算放大器的供电端用于输入第一供电电压，所述第一供电电压比所述第一参考电压高预设的第一电压值，所述运算放大器的输出端用于输出与所述回路电流成比例的电压信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 静电卡盘电源回路电流的检测装置及半导体工艺设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD