申请/专利权人：厦门捷希自动化科技有限公司

申请日：2024-02-21

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117848618A

主分类号：G01M3/26

分类号：G01M3/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆片气密性检测装置，包括底座、支撑架、用于放置晶圆片的载盘，所述支撑架上固定设置有保压底板，所述载盘放置在保压底板上，所述载盘上固定设置有放置块，所述晶圆片放置在放置块上，所述载盘上盖合设置有石英盖板，所述放置块的槽底开设有连通孔，所述保压底板上开设有通气槽，所述底座上设置有用于抵紧载盘的抵紧组件，所述通气槽中固定连接有进气管，所述底座上设置有进气泵，所述进气管固定连接在进气泵上，所述进气管上固定连接有精密流量计和精密电气比例阀，当压力达到精密电气比例阀设定值时停止供气，若压力低于设定值时继续充气，本发明具有方便快速的检测晶圆的放置是否准确的效果。

主权项：1.一种晶圆片气密性检测装置，其特征在于：包括底座1、支撑架、用于放置晶圆片8的载盘3，所述支撑架设置在底座1上，所述支撑架上固定设置有保压底板6，所述载盘3放置在保压底板6上，所述载盘3上固定设置有放置块7，所述晶圆片8放置在放置块7上，所述载盘3上盖合设置有石英盖板10，所述放置块7的上开设有连通孔17，所述保压底板6上开设有通气槽18，所述通气槽18位于连通孔17的下方，所述底座1上设置有用于抵紧载盘3的抵紧组件，所述通气槽18中固定连接有进气管26，所述底座1上设置有进气泵27，所述进气管26固定连接在进气泵27上，所述进气管26上固定连接有精密流量计28和精密电气比例阀29，当压力达到精密电气比例阀29设定值时停止供气，若压力低于设定值时继续充气。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 厦门捷希自动化科技有限公司 一种晶圆片气密性检测装置

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