申请/专利权人：东丽株式会社

申请日：2022-09-20

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117859097A

主分类号：G03F7/023

分类号：G03F7/023;G03F7/004;G03F7/075;G03F7/20;H01L33/52

优先权：["20210929 JP 2021-158866"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：在形成被图案化了的固化膜时，通过不需要图案掩模的便宜的方法来实现。一种带有固化膜的基板的制造方法，其特征在于，依次具有下述工序：对表面具有凹凸结构的基板设置感光性树脂组合物的涂布膜的工序；使该涂布膜干燥而制成干燥膜的工序；对该干燥膜曝光的工序；使该曝光后的干燥膜表面沿膜厚方向部分地显影的工序；以及将显影后的涂膜加热而制成固化膜的工序，在将对干燥膜曝光的工序中的辐射光的波长300nm～450nm的区域中的光谱辐射照度的合计值设为A、通过了干燥膜的辐射光的波长300nm～450nm的区域中的光谱辐射照度的合计值设为B时，每1μm干燥膜厚的衰减比率BA满足以下关系式I。0.001≤BA≤0.2I。

主权项：1.一种带有固化膜的基板的制造方法，其特征在于，依次具有下述工序：对表面具有凹凸结构的基板设置感光性树脂组合物的涂布膜的工序；使该涂布膜干燥而制成干燥膜的工序；对该干燥膜曝光的工序；使该曝光后的干燥膜表面沿膜厚方向部分地显影的工序；以及将显影后的涂膜加热而制成固化膜的工序，其中，将对干燥膜曝光的工序中的辐射光的波长300nm～450nm的区域中的光谱辐射照度的合计值设为A、通过了干燥膜的辐射光的波长300nm～450nm的区域中的光谱辐射照度的合计值设为B时，干燥膜的每1μm膜厚的光谱辐射照度的衰减比率BA满足以下关系式I，0.001≤BA≤0.2I。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东丽株式会社 带有固化膜的基板的制造方法、带有固化膜的基板及具备带有固化膜的基板的元件

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