申请/专利权人：大连理工大学盘锦产业技术研究院

申请日：2024-03-07

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117842941A

主分类号：C01B19/04

分类号：C01B19/04;C04B41/50

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种二硒化铪及其制备方法，该方法包括：将四氯化铪和硒粉分别放入第一刚玉舟中，将其放置于管式炉中心温区上游；取碱金属盐放入第二刚玉舟中，将其放置于管式炉内中心温区；将清洗后的生长衬底放置于第三刚玉舟中，将其放置于管式炉中心温区下游；以氢气和氩气混合气体作为载气，管式炉的温度设定分为四个阶段发生化学气相沉积反应。由此，该方法通过优化前驱体供给在时间和空间上的均匀性，解决了前驱体源供给不均匀的难题，确保二者在参与反应的温区中具有相同的蒸汽压，实现了近稳态供源。该方法工艺简单，重复性好，降低了生产成本。

主权项：1.一种二硒化铪的制备方法，其特征在于，包括：1将四氯化铪和硒粉分别放入第一刚玉舟中，将其放置于管式炉中心温区上游；2取碱金属盐放入第二刚玉舟中，将其放置于管式炉内中心温区；3将清洗后的生长衬底放置于第三刚玉舟中，将其放置于管式炉中心温区下游；4以氢气和氩气混合气体作为载气，管式炉的温度设定分为四个阶段发生化学气相沉积反应。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 大连理工大学盘锦产业技术研究院 一种二硒化铪及其制备方法

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