申请/专利权人：安徽芯视佳半导体显示科技有限公司

申请日：2023-12-11

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117858595A

主分类号：H10K71/16

分类号：H10K71/16;C23C14/04;B23P15/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种超高精度硅基OLEDFMMMask，包括MaskFrame和Invar合金，所述Invar合金采用整体张网焊接在MaskFrame上，Invar合金上设有像素孔。本发明还公开了一种超高精度硅基OLEDFMMMask的制作方法，首先将板厚较厚的Invar合金原材料，进行刻蚀减薄；再将Invar合金材料整体张网焊接到MaskFrame上，然后通过激光设备，采用分步开孔法及对称开孔法在Invar合金上制作像素开孔，形成一体式激光开孔的FMMMask；从而提升MicroOLEDRGBsidebyside蒸镀良率。

主权项：1.一种超高精度硅基OLEDFMMMask，其特征在于：包括MaskFrame1和Invar合金2，所述Invar合金2采用整体张网焊接在MaskFrame1上，Invar合金2上设有像素孔3。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽芯视佳半导体显示科技有限公司 一种超高精度硅基OLED FMM Mask及其制作方法

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