申请/专利权人：浙江大学

申请日：2024-01-17

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117853683A

主分类号：G06T17/30

分类号：G06T17/30;G06T5/50;G06T15/00;G06T15/08;G06N3/084

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提出了一种基于原子力显微镜的微纳结构三维重建方法，能够应用到超精密加工，微纳尺度制造，微纳结构测量等领域。首先采用原子力显微镜系统和标准探针，获取待测微纳样品在倾斜可旋转载物台和平面载物台上的多视角AFM扫描数据；再基于迭代优化方法，将多视角AFM扫描数据对齐到同一空间坐标系并且剔除多视角AFM扫描数据中的伪影；最后利用神经隐式表面重建方法，将已经对齐并剔除伪影的多视角AFM扫描数据融合为待测微纳结构的三维重建模型。本发明在复杂微纳结构上重建出更完整、准确的样品表面三维模型，不依赖于特制的原子力显微镜探针或者是对原子力显微镜系统的定制化改造，显著降低了实现成本，可广泛用于纳米领域研究。

主权项：1.一种基于原子力显微镜的微纳结构三维重建方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：采用原子力显微镜系统和标准探针，获取待测微纳样品在倾斜可旋转载物台和平面载物台上的多视角AFM扫描数据；S2：基于迭代优化方法，将多视角AFM扫描数据对齐到同一空间坐标系并且剔除多视角AFM扫描数据中的伪影；S3：利用神经隐式表面重建方法，将已经对齐并剔除伪影的多视角AFM扫描数据融合为待测微纳结构的三维重建模型。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学 一种基于原子力显微镜的微纳结构三维重建方法

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