申请/专利权人：乐华科技股份有限公司

申请日：2022-09-30

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855115A

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673;H01L21/677;H01L21/687;H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明提供一种晶圆储存装置及其方法，包括一晶圆存放组件，晶圆存放组件包含有定位柱、上盖件、下承载件、及晶圆承载件，晶圆存放组件的左右两侧分别设有左侧夹持组件及右侧夹持组件，下承载件或左侧夹持组件及右侧夹持组件连接有一纵向带动机构，其中左侧夹持组件包含有左侧支撑件、左上夹爪、及左下夹爪，右侧夹持组件包含有右侧支撑件、右上夹爪、及右下夹爪，左侧夹持组件会经由一左横向带动机构所带动，而右侧夹持组件会经由一右横向带动机构所带动，借此夹持晶圆存放组件中的上盖件或各晶圆承载件，以配合纵向带动机构的带动方式，来产生供使用者取放晶圆片的空间，同时配合晶圆检测机构来检测晶圆片的状况，提高使用上的方便性与效率。

主权项：1.一种晶圆储存装置，其特征在于，包含：一晶圆存放组件，该晶圆存放组件包含有复数的定位柱、一活动设置于该复数的定位柱上的上盖件、一活动设置于该复数的定位柱上的下承载件、及活动设置于该复数的定位柱上并位于该上盖件及该下承载件之间的复数的晶圆承载件，而该复数的晶圆承载件是供盛放晶圆片；一左侧夹持组件，该左侧夹持组件设于该晶圆存放组件的左侧处，且该左侧夹持组件包含有一左侧支撑件、一设于该左侧支撑件上的左上夹爪、及一活动设于该左上夹爪下侧处的左下夹爪；一左横向带动机构，该左横向带动机构设于该左侧夹持组件上，以供带动该左侧夹持组件横向移动；一右侧夹持组件，该右侧夹持组件设于该晶圆存放组件的右侧处，且该右侧夹持组件包含有一右侧支撑件、一设于该右侧支撑件上的右上夹爪、及一活动设于该右上夹爪下侧处的右下夹爪；一右横向带动机构，该右横向带动机构设于该右侧夹持组件上，以供带动该右侧夹持组件横向移动；一纵向带动机构，该纵向带动机构设于该晶圆存放组件的一侧处，是供连接该晶圆存放组件或该左侧夹持组件及该右侧夹持组件；及一晶圆检测机构，该晶圆检测机构设于该晶圆存放组件的一侧处，以供检测该晶圆存放组件内的晶圆片。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 乐华科技股份有限公司 晶圆储存装置及其方法

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