申请/专利权人：细美事有限公司

申请日：2023-09-26

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117848980A

主分类号：G01N21/31

分类号：G01N21/31;G01N21/01

优先权：["20221005 KR 10-2022-0127299"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.09#公开

摘要：提供一种用于测试用于加工基底的化学品的化学品测试设备和一种基底加工设备，所述化学品测试设备包括：第一管线，提供入口和通道，通过所述入口引入所述化学品，所述化学品通过所述通道移动；第二管线，具有连接到所述第一管线的两个分开的点的一端和另一端，并且提供填充有引入所述第一管线中的所述化学品的通道；排放管线，连接到所述第一管线的下端；以及阀，至少在所述第一管线的连接到所述第二管线的部分下方设置在所述第一管线和所述排放管线之间，以打开或关闭供所述化学品从所述第一管线移动到所述排放管线的通道。

主权项：1.一种化学品测试设备，所述化学品测试设备用于测试用于加工基底的化学品，所述化学品测试设备包括：第一管线，提供入口和通道，通过所述入口引入所述化学品，所述化学品通过所述通道移动；第二管线，具有连接到所述第一管线的两个分开的点的一端和另一端，并且提供填充有引入所述第一管线中的所述化学品的通道；排放管线，连接到所述第一管线的下端；以及阀，至少在所述第一管线的连接到所述第二管线的部分下方设置在所述第一管线和所述排放管线之间，以打开或关闭供所述化学品从所述第一管线移动到所述排放管线的通道。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 细美事有限公司 化学品测试设备和基底加工设备

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