申请/专利权人：株式会社电装;丰田自动车株式会社;未来瞻科技株式会社

申请日：2023-09-25

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855272A

主分类号：H01L29/78

分类号：H01L29/78;H01L29/423;H01L29/10

优先权：["20221006 JP 2022-161714"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：开关元件具有源极电极48和在设置于半导体基板12的多个沟槽20内配置的栅极电极42。在将各沟槽的长度方向设为第一方向且第二方向与所述第一方向交叉时，各沟槽以满足如下的条件的方式一边向第二方向位移一边沿着第一方向延伸，所述的条件是：由相邻的沟槽夹持的半导体区域即各沟槽间区域30具有多个窄幅部31和与窄幅部相比在第二方向上的宽度更宽的多个宽幅部32；以及在半导体基板的上表面上窄幅部与宽幅部沿着第一方向交替地配置且窄幅部与宽幅部隔着沟槽沿着第二方向交替地配置。源极区域50跨窄幅部和宽幅部地分布，在宽幅部内与源极电极相接。

主权项：1.一种开关元件，其特征在于，具有：半导体基板；多个沟槽，其设置在所述半导体基板的上表面；栅极绝缘膜，其覆盖各所述沟槽的内表面；栅极电极，其配置在各所述沟槽内，通过所述栅极绝缘膜而与所述半导体基板绝缘；以及源极电极，其设置在所述半导体基板的所述上表面，多个所述沟槽在所述上表面以各所述沟槽的长度方向成为第一方向的方式配置，多个所述沟槽在所述上表面以在与所述第一方向交叉的第二方向上隔开间隔的方式配置，各所述沟槽以满足如下条件的方式在所述上表面一边在所述第二方向上位移一边沿着所述第一方向延伸，所述条件是：由相邻的所述沟槽夹持的半导体区域即各沟槽间区域具有多个窄幅部和与各所述窄幅部相比所述第二方向上的宽度更宽的多个宽幅部；以及在所述上表面，所述窄幅部与所述宽幅部沿着所述第一方向交替地配置，并且所述窄幅部与所述宽幅部沿着所述第二方向隔着所述沟槽交替地配置，所述半导体基板具有：n型的源极区域，其配置在各所述沟槽间区域内，跨所述窄幅部和所述宽幅部地分布，在所述宽幅部内与所述源极电极相接，在所述窄幅部内与所述栅极绝缘膜相接；p型的体区域，其配置在各所述沟槽间区域内，在所述窄幅部内的所述源极区域的下侧与所述栅极绝缘膜相接；以及n型的漂移区域，其从所述各窄幅部内到比所述多个沟槽靠下侧的区域为止分布，在所述窄幅部内的所述体区域的下侧与所述栅极绝缘膜相接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社电装;丰田自动车株式会社;未来瞻科技株式会社 开关元件

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