申请/专利权人：中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

申请日：2024-01-05

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117848479A

主分类号：G01H9/00

分类号：G01H9/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种阻尼可控振动传感器敏感元件以及振动传感器，所述敏感元件包括上盖、下盖和敏感结构，上盖、下盖与敏感结构形成封闭腔；敏感结构包括封装边框、支撑梁、阻尼膜片和质量块，封装边框用于保护质量块，封装边框的厚度大于质量块的厚度；阻尼膜片设置在质量块的底部外周，阻尼膜片与下盖之间形成阻尼腔，阻尼膜片第一膜片和第二膜片，第一膜片和第二膜片分别包括相对于质量块对称设置的两个半径相同的四分之一膜片，第二膜片的半径小于第一膜片，第二膜片与第一膜片的半径比不小于13；支撑梁用于连接质量块与封装边框，阻尼膜片的厚度小于支撑梁的厚度的120。本发明能够在实现传感器阻尼参数可调控的同时不影响传感器的其他参数设计。

主权项：1.一种阻尼可控振动传感器敏感元件，其特征在于：包括上盖、下盖和敏感结构，所述敏感结构设置在所述上盖与所述下盖之间，所述上盖、所述下盖与所述敏感结构形成封闭腔；所述敏感结构包括封装边框、支撑梁、阻尼膜片和质量块，所述封装边框用于保护所述质量块，所述质量块设置在所述封装边框内，所述封装边框的厚度大于所述质量块的厚度；所述阻尼膜片设置在所述质量块的底部外周，所述阻尼膜片与所述下盖之间形成阻尼腔，所述阻尼膜片第一膜片和第二膜片，第一膜片和第二膜片分别包括相对于所述质量块对称设置的两个半径相同的四分之一膜片，第二膜片的半径小于第一膜片，第二膜片与第一膜片的半径比不小于13；所述支撑梁设置在所述质量块的外周，用于连接所述质量块与所述封装边框，所述阻尼膜片的厚度小于所述支撑梁的厚度的120。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 一种阻尼可控振动传感器敏感元件以及振动传感器

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